良率超 50%,全球第三大硅晶圆厂环球晶明年试产 8 英寸 SiC
10 月 27 日消息,全球第三大硅晶圆生产商环球晶圆控股(GlobalWafers)董事长徐秀兰表示,公司克服了量产碳化硅(SiC)晶圆的重重技术难关,已经将 SiC 晶圆推进至 8 英寸,和国际大厂保持同步。
徐秀兰预估将会在 2024 年第 4 季度开始小批量出货 8 英寸 SiC 产品,2025 年大幅增长,到 2026 年占比超过 6 英寸晶圆。
环球晶圆表示目前较好地控制了 8 英寸晶圆良率,已经超过 50%,而且有进一步改善的空间,明年上半年开始交付相关样品。
从报道中获悉,徐秀兰表示客户都希望环球晶圆教书从 6 英寸到 8 英寸 SiC 量产的过渡,主要客户来自汽车领域。
环球晶圆设计并开发了专门的碳化硅晶体生长炉(Crystal Growth Furnace),增强了材料质量控制并降低了晶体生长成本。
SiC 的高硬度和脆性使得晶圆加工具有挑战性,但环球晶圆采用更高的工艺精度和更高效的晶圆处理方法,从而实现超薄 SiC 晶圆加工。