ASML首款全新极紫外光刻机交付 产能提升15%至20%

7月21日,荷兰光刻设备制造商ASML今天公布了2021年第二季度的财务报告。

财务报告显示,阿斯麦第二季度净销售额为40亿欧元,毛利率为50.9%,净收入为10亿欧元。此外,ASML预计2021年第三季度净销售额在52亿至54亿欧元之间,毛利率在51%至52%之间。

Asme表示,其第二季度净预订金额为83亿欧元,其中49亿欧元来自EUV系统,使订单积压总额达到175亿欧元。

在其财务报告中,它还透露了一个重要信息,即ASML的第一个TWINSCAN NXE:3600D系统已经交付给客户。与TWINSCAN NXE:3400C相比,该系统的生产率提高了15%至20%,覆盖率(叠加精度)提高了30%左右。

据了解,ASML表示,他们正在努力增加EUV在存储行业的量产应用,并将计划在未来的工艺节点协助三家DRAM客户进口EUV。

在其DUV业务中,TWINSCAN NXT:2000i(一种ArFi浸没系统)创下了单日向客户曝光超过6300个晶圆的记录。

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